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半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀 |
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| 型 號(hào)：PS-6ND |
| 品 牌：日本新宇宙 |
| 技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè)原理：熱分解，定電位電解式；NF3,CCI4用 |
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榆林半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-PS-6ND-日本新宇宙
| 功能描述 |
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| 檢測(cè)原理： |
熱分解，，定電位電解式；NF3,CCI4用 |
| 采樣方式： |
泵吸引式 |
| 采樣配管： |
特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm，，配管距離20m以?xún)?nèi)；但吸著性強(qiáng)的氣體最大配管距離為5m |
| 氣體濃度顯示： |
0～9999LED顯示 |
| 輸出信號(hào)： |
用DeviceNet的數(shù)字通信 |
| 流量低下信號(hào)： |
用DeviceNet的數(shù)字通信 |
| 適合電纜： |
電源用：KW或KW-P2芯；通信：DeviceNet專(zhuān)用電纜 |
| 使用溫度： |
0℃～40℃ |
| 消耗電力 |
本機(jī)：約15W通信，，約2W |
| 電源需求 |
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| 電壓 |
DC24±10% |
| 物理特性 |
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| 長(zhǎng)度 |
145mm(突起部分除外） |
| 寬度 |
37mm |
| 高度 |
198mm |
| 重量 |
2.7kg |
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