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      技術文章
      
       
      

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      半導體工廠氣體檢測儀
      
         
      
           
           
      
             
      型　號：PS-2CKⅢ
      
             
      品　牌：日本新宇宙
      
             
      技術指標：檢測 TEOS等烷氧基系列氣
      
           
      
                 		
         
      
       
      
        
        
      	  沭陽半導體工廠氣體檢測儀-PS-2CKⅢ-日本新宇宙
      
 
 
      
 
 型號
 
 
 PS-2CKⅢ
 
 
      
 
      
 
 檢測原理
 
 
 熱分解離子化式
 
 
      
 
      
 
 檢測氣體對象
 
 
 TEOS等烷氧基系列氣體
 
 
      
 
      
 
 指示范圍
 
 
 按照另外規(guī)格
 
 
      
 
      
 
 傳感器供給電源
 
 
 由各指示計組件供給
 
 
      
 
      
 
 泵電源
 
 
 AC100V±10%
 
 
      
 
      
 
 可延長距離
 
 
 1km（使用2mm2線）
 
 
      
 
      
 
 檢測方式
 
 
 泵吸引式
 
 
      
 
      
 
 防爆結構
 
 
 非防爆結構
 
 
      
 
      
 
 使用溫度范圍
 
 
 0℃～40℃
 
 
      
 
      
 
 使用電纜線
 
 
 2芯+2芯屏蔽電纜線
 
 
      
 
      
 
 重量
 
 
 約9.3kg
 
 
      
       

      

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    12. 

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