定州音速噴嘴流量元件-molbloc-S-美國(guó)FLUKE
基于音速噴嘴的molbloc，氣流最高可達(dá)5,000 slm
molbloc-S® 是一種高精確度的傳送標(biāo)準(zhǔn)，適用于校準(zhǔn)其他傳送標(biāo)準(zhǔn)或過程流量計(jì)和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM™ 終端配合，可擴(kuò)展 molbloc/molbox™ 校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程，并且為中高流量提供出眾的準(zhǔn)確度�，F(xiàn)有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件，而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結(jié)合使用。
特性一覽
·
對(duì)于 N2 和空氣，覆蓋高達(dá) 5,000 slm 的量程
·
可與 molbox1+ 或現(xiàn)有的 molbox1 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用
·
重量校準(zhǔn)支持可靠的流量文氏管（音速）噴嘴操作原則
·
污染物敏感度極低
·
測(cè)量不確定度：
對(duì)于 molbox1+，，可達(dá)到 ±0.125% 讀數(shù)
對(duì)于 molbox1，可達(dá)到 ±0.2% 讀數(shù)
對(duì)于 molbox RFM，可達(dá)到 ±0.5% 讀數(shù)
·
可以使用空氣、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校準(zhǔn)氣體，可以對(duì)環(huán)境氣體進(jìn)行潮濕氣體密度補(bǔ)償
·
利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號(hào)加上真空，可實(shí)現(xiàn)卓越的量程可調(diào)性（10:1 調(diào)節(jié)）。
·
冗余的上游絕壓測(cè)量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性
·
完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測(cè)量
·
連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)，就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣
·
可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)
molbloc-S量程
通過 molbloc-S 的質(zhì)量流速可直接與上游絕壓以及獨(dú)立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉(zhuǎn)化率 KF 定義。KF 的單位為 sccm/kPa，它定義了質(zhì)量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關(guān)系。molbloc-S 校準(zhǔn)工作是針對(duì)與 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游壓力相對(duì)應(yīng)的量程執(zhí)行的。
為了使流量測(cè)量有效，molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量是最重要的，例如，氣體速度等同于本地音速。當(dāng)背壓率足夠低時(shí)可以達(dá)到關(guān)鍵流量，，或保持 BPR 不變（molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓）。關(guān)鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間，具體取決于流量的雷諾數(shù)。
由于通過 molbloc-S 的質(zhì)量流量與上游絕壓成比例，molbloc-S 的流量量程在應(yīng)用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程最大化，必須在下游連接一個(gè)真空泵，減少流動(dòng)時(shí)的下游壓力。當(dāng)下游壓力足夠低時(shí)，就可以將上游壓力以及質(zhì)量流速調(diào)節(jié)到針對(duì) molbloc 校準(zhǔn)類型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游（無真空泵），則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準(zhǔn)類型的最大壓力到當(dāng) BPR 等于當(dāng)前雷諾數(shù)下的 BPR 限值時(shí)的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能，可測(cè)量 BPR，在 BPR 值過高時(shí)自動(dòng)提示操作人員，避免在流量非關(guān)鍵時(shí)進(jìn)行測(cè)量。
|
molbloc/molbox通用技術(shù)指標(biāo)
|
|
|
molbox1+
|
molbox RFM
除非另行說明，否則所有技術(shù)指標(biāo)均與molbox1相同。
|
|
正常工作溫度范圍：
|
15到35°C
|
|
|
儲(chǔ)存溫度范圍：
|
-25到35°C
|
|
|
正常工作壓力范圍：
|
20到200 kPa絕壓（3到30 psia）；或50到500 kPa絕壓（7到70 psia）上游；或200到2000 kPa（30到300 psia），僅適用于molbox1+S。
|
|
|
總流量量程：
|
<1到5,000 slm
|
|
|
入口連接：
1E1-S到1E2-S
2E2-S到2E3-S
5E3-S和1E4-S
|
1/4 in. VCR™
1/2 in. VCR™
1 in. VCR™或1 in. NPT
|
|
|
出口連接：
5E1-S到2E3-S
5E3-S、1E4-S
|
16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
|
|
|
支持的氣體：
|
氮?dú)?N2)、干空氣、潮濕空氣、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氫氣(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟環(huán)丁烷(C4F8)、氙氣(Xe)
|
|
|
流量測(cè)量
|
|
范圍：
|
取決于molbloc的尺寸和壓力校準(zhǔn)量程（請(qǐng)參閱molbloc-S量程表格）
|
|
|
所需背壓率：
|
0.4到0.9，取決于雷諾數(shù)
|
|
|
校準(zhǔn)氣體：
|
標(biāo)準(zhǔn)：干空氣
可選：N2（取代標(biāo)準(zhǔn)空氣校準(zhǔn)或作為補(bǔ)充）、Ar、H2、He、N2O。有關(guān)這些氣體和其他氣體在特定量程內(nèi)的可用性，請(qǐng)咨詢廠家。
*濕空氣操作需要進(jìn)行干空氣校準(zhǔn)
|
|
|
molbloc-S壓力校準(zhǔn)量程：
|
低壓力(LP)：
20到200 kPa絕壓（3到30 psia），上游
標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)：
50到500 kPa絕壓（7到70 psia），上游
高壓力(HP)：
200到2 MPa絕壓（30到300 psia），上游
* HP校準(zhǔn)僅適用于molbox1+S終端
*流量測(cè)試技術(shù)指標(biāo)在10%到100% molbloc量程內(nèi)有效
|
|
|
分辨率：
|
±0.0015% FS
|
±0.01%讀數(shù)
|
|
精確度：
|
讀數(shù)的±0.06％
|
±0.30%讀數(shù)
|
|
預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度（一年期）
|
讀數(shù)的±0.05％
|
讀數(shù)的±0.2％
|
|
測(cè)量不確定度
|
讀數(shù)的±0.2％
特級(jí)校準(zhǔn)：±0.125%讀數(shù)
|
50到500 kPa時(shí)，±0.5%讀數(shù)
|
|
型號(hào)
|
描述
|
|
1E1-S
|
KF [sccm/kPa]:
10
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
2E1-S
|
KF [sccm/kPa]:
20
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
5E1-S
|
KF [sccm/kPa]:
50
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
1E2-S
|
KF [sccm/kPa]:
100
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
2E2-S
|
KF [sccm/kPa]:
200
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
5E2-S
|
KF [sccm/kPa]:
500
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
1E3-S
|
KF [sccm/kPa]:
1000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
2E3-S
|
KF [sccm/kPa]:
2000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
5E3-S
|
KF [sccm/kPa]:
5000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
1E4-S
|
KF [sccm/kPa]: 10,000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容：
· molbloc-S流量元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于molbloc上游連接的柔軟的，可重復(fù)使用的VCR O形圈；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明
· 處于標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
· 高度的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
|
|
molbloc-S校準(zhǔn)選件
|
低壓20到200 kPa（3到30 psia）
molbloc上游（指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn)）
標(biāo)準(zhǔn)壓力50到500 kPa（7到70 psia）
molbloc上游（指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn)）
高壓200到2000 kPa（30到300 psia）
molbloc上游（指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn)）
|
