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      技術文章
      
       
      

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      11. 
              		
       
      
     
      
     
      
		
      
	 
      
           		
     
     
       
      
         
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      半導體工廠氣體檢測儀
      
         
      
           
           
      
             
      型　號：XD-303PH
      
             
      品　牌：日本新宇宙
      
             
      技術指標：檢測對象氣體：膦 
      
           
      
                 		
         
      
       
      
        
        
      	  保山半導體工廠氣體檢測儀-XD-303PH-日本新宇宙
      
 
 
      
 功能描述
  
 
      
 
      
 檢測對象氣體：
 膦
 
      
 
      
 檢測范圍：
 0-1ppm；0-0.3ppm
 
      
 
      
 最小刻度：
 0.1ppm；0.01ppm
 
      
 
      
 采樣方式：
 自動吸引式
 
      
 
      
 應答速度：
 60%應答40秒
 
      

 
      ，，             
       
      
       
       
      
         
      
          
           
         
       
       
      
       
      
         
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    12. 

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