氧化鋁電容式濕度計(jì)測(cè)量結(jié)構(gòu)原理：
氧化鋁電容式濕度計(jì)形式繁多例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的、顯示多參數(shù)的等等。但其本質(zhì)是一個(gè)電容器通過將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導(dǎo)電的基體上然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導(dǎo)電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過金薄層被孔狀的氧化鋁吸收這個(gè)電容器的阻抗與水分子個(gè)數(shù)即水汽分壓成一定的比例。通過測(cè)量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓通過換算可得到露點(diǎn)值。位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在10-3Pa(約相當(dāng)于-110℃露點(diǎn))到水的飽和汽壓的整個(gè)范圍內(nèi)都有響應(yīng)。由于其對(duì)水的強(qiáng)烈的親和力再加上水的較大的介電常數(shù)使得氧化鋁電容式濕度計(jì)對(duì)水有高度的選擇性而對(duì)其它普通氣體及有機(jī)氣和液體沒有響應(yīng)。
在中高濕范圍其準(zhǔn)確度一般為±1~±2℃低濕范圍比如-100℃時(shí)準(zhǔn)確度一般為±2~±3℃。氧化鋁電容式濕度計(jì)傳感器不與烴類氣體、CO、CO2、含氯氟烴氣體發(fā)生反應(yīng)但對(duì)于不同的氣體其漂移不同。對(duì)于某些腐蝕性氣體，例如氨、SO3以及氯則會(huì)損壞傳感器因此應(yīng)盡量避免。
氧化鋁電容式濕度計(jì)使用注意事項(xiàng)：
氧化鋁電容式濕度計(jì)通常的測(cè)量范圍為-110℃~+20℃。當(dāng)被測(cè)露點(diǎn)較高時(shí)，會(huì)使得氧化鋁電容式濕度計(jì)產(chǎn)生較大的漂移。同時(shí)還需注意溫度系數(shù)。由于其對(duì)水汽分壓產(chǎn)生響應(yīng)因此應(yīng)注意測(cè)量時(shí)氣體總壓的變化。應(yīng)避免灰塵、油污測(cè)量時(shí)氣體流量較大一般為3~5（L/min），德圖紅外熱像儀甚至更大。
氧化鋁電容式濕度計(jì)優(yōu)缺點(diǎn)：
優(yōu)點(diǎn)——較寬的響應(yīng)范圍從1μL/L（ppmv）到80%RH可以遠(yuǎn)程安裝可以現(xiàn)場(chǎng)使用相對(duì)穩(wěn)定響應(yīng)較快溫度系數(shù)較小與流量變化無關(guān)對(duì)水分有較高的選擇性可以在較寬的溫度和壓力范圍內(nèi)使用日常維護(hù)量較小體積小。
缺點(diǎn)——該方法是間接測(cè)量在較高的溫度下操作或某些氣體會(huì)引起漂移受腐蝕性氣體的影響必須定期校準(zhǔn)以克服老化、滯后及污染。由于響應(yīng)值非線性因此需對(duì)每只傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)不能通用。
